진공장치
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작성일 22-09-29 17:49
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티타늄 금속박막이 활성인 가스분자를 흡착하는 과정은 이온펌프와 마찬가지다.
,기타,레포트
진공장치에 대해 조사한 자료입니다.
이 흡착에의한 포화는 압…(To be continued )
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다. 티타늄 박막을 만들기 위해서 이온펌프에서는 페닝 방전으로 계속 스퍼터링 시키기 때문에 계속해서 배기작용을 갖도록 할 수 있지만 게터펌프에서는 티타늄의 단속적인 가열 증발에 의해 박막을 만들기 때문에 흡착이 포화 되면 배기 작용이 저하된다된다.
게터(getter)펌프는 티타늄이나 지르코늄등 활성인 금속 혹은 합금을 초고진공 중에서 가열,증발시켜 진공펌프용기 내면에 부착시키면, 신선한 활성 금속 박막이 활성인 가스분자를 흡착, 즉 배기하는 것이다.
